1、特殊氣體:指這些在一定領域里運用的,對氣體有特別要求的純氣、高純氣或者由高純度化合物氣體調制的二元或多元化混合氣體。特殊氣體類別多種多樣,一般可劃分為電子氣體、標準氣、環境保護氣、醫療氣、電焊焊接氣、除菌氣等,廣泛運用于電子、電力工程、石油化工設備、開采、鋼材、金屬制品業、熱力工程、生物化學、環保監測、醫學臨床研究及確診、蔬菜保鮮等行業。
2、標準氣體:標準氣體歸屬于國家標準物質。國家標準物質是相對高度均勻、優良和穩定量值精確的測量規范,他們具備重現、儲存和傳送量值的最基本功效,在物理學、有機化學、微生物與建筑工程測量領域里用以校.d([準檢測儀器和測量過程,點評測量法的準確性和實驗室的檢測能力,明確材料和新產品的特點量值,開展量值訴訟等。大中型乙烯廠、合成氨工藝廠以及其它石化企業,在設備駕車、泊車和普通生產制造時需要幾十種純氣和幾百種多組分規范混合氣體,用于校正、校準生產中所使用的線上分析儀與分析原材料及產品品質的儀器設備。標準氣還可以用以環保監測,有毒的東西有機化合物精確測量,汽車排放氣檢測,天燃氣BTU精確測量,壓縮天然氣校準規范,超臨界萃取加工工藝等。標準氣視氣體組分數區別為二元、三元和多元化標準氣體;配氣機構精準度規定以配氣機構誤差值與分析誤差值來表現;較為通用有SE2MI配氣機構誤差值規范,但各企業都有產品標準。成分的較低濃度的為10-6級,組分數可高達20多種配置方式可采取重量法,隨后用色譜校對,也可以按要求傳送程序進行傳送。
3、電子氣體:半導體材料工業級的氣體通稱電子氣體。按照其類別可以分為純氣、高純氣和半導體材料材料氣體三大類。材料氣體主要運用于外延性、夾雜和蝕刻;高純度氣體關鍵作為稀釋液氣和運輸氣。電子氣體是特殊氣體的一個重要支系。電子氣體按純凈度等級應用場所,可以分為電子級、LSI(規模性集成電路芯片)級、VLSI(集成電路工藝集成電路芯片)級和ULSI(特大規模的集成電路芯片)級。